|
33355 Mikroteknologi og mikrosystemer |
| Engelsk titel: Microtechnology and Microsystems |
|
Sprog: Engelsk Point: 10, Ekstern censur. |
|
| Type: civilkursus, udbydes under åben uddannelse |
|
Eksamensplacering: |
F2-A (maj 29 2002), E2-A (dec 12 2001)
|
|
Vejledende placering: Sidst i studiet. |
|
Undervisningsform: Forelæsninger, øvelser og projektarbejde, 2x4 timer om ugen. |
|
Evalueringsform: Mundtlig fremlæggelse og bedømmelse af rapport(er)
|
| Karakter: 13-skala |
Kursusmål: Et mikrosystem er et miniature system opbygget af forskellige funktionelle dele: elektroniske, mekaniske, optiske og mikrofluide. Alle disse dele er fremstillet helt eller delvist ved hjælp af mikroteknologi og udgør tilsammen et udeleligt system. Et høreapparat eller et dedikeret miniatyre kemisk analyseinstrument er eksempler på mikrosystemer. I biler finder du andre eksempler på mikrosystemer, for eksempel er accelerometer chippen, der styrer udløsningen af air-bags et mikrosystem.
Kurset sætter dig i stand til:
1) at vurdere hvilke mikroteknologiske fremstillingsmetoder, der bedst egner sig for et givet mikrosystem.
2) at vurdere om et mikrosystem vil være den rette løsning i en given applikation.
3) at designe / udvikle fremstillingsprocessen for et givent mikrosystem.
4) at designe mikrosystemer for en række applikationer. |
Kursusindhold: Introduktion til mikrosystemer. Beskrivelse af mikroteknologi: Lithografi, ætsning, tyndfilmdeponering, dotering, ionimplantation, elektrodeponering, bondning, indkapsling og krystaldyrkning. Beskrivelse af mikrosystem konstruktionselementer, og brugbare transducer principper for sensorer og aktuatorer samt disses skalerbarhed.
Eksempler på mikrosystemer for en række vigtige applikationer. CAD og CAE værktøjer for mikrosystemer.
I den sidste del af kurset gennemføres et projektarbejde om et konkret mikrosystem. |
Kontaktperson: Ole Hansen, building 345ø, (+45) 4525 5715, oh@mic.dtu.dk
Aric Menon, building 345E/058, tlf (+45)4525 6329, am@mic.dtu.dk |
| Institut: 033 Mikroelektronikcentret |
| Nøgleord: Mikrosystemer, MEMS, Mikroteknologi |
| Opdateret: 08-05-2001 |
|
|
