|
Vejledende placering: Midt i studiet. |
|
Undervisningsform: Selvstændigt eksperimentelt arbejde i 3 uger, 8 timer pr. dag. |
|
Evalueringsform: Bedømmelse af opgave(r)/rapport(er)
|
| Karakter: bestået/ikke bestået |
| Tidligere kursus: 44471 |
| Pointspærring: 44471 |
| Deltager begrænsninger: Max. 16 |
| Kursusmål: At give dig erfaring med de eksperimentelle teknikker og den teknologi, der anvendes indenfor mikro- og nanoteknologi |
Kursusindhold: Kurset består af et projektorienteret eksperimentelt forløb, hvor det aktuelle faglige indhold i projektet har nær tilknytning til forskningsprojekter på MIC. Projektet gennemføres i tæt samarbejde med PhD studerende på MIC. Eksempler på tidligere projekter:
Fremstilling af AFM prober med reaktiv ion ætset spids.
Evaluering af piezoresistive AFM prober.
Evaluering af piezoelektrisk mikromekanisk accelerometer.
Undersøgelse af STM induceret brint desorbtion fra silicium overflader.
Undersøgelse af silicium fusion bonding i UHV.
Korrosionsbestandighed af tantaloxid. |
| Bemærkninger: Kurset udgør den eksperimentelle indgang til MICs undervisningstilbud og er en nødvendig forudsætning for visse typer af eksamensprojekter ved MIC. |
| Kontaktperson: Ole Hansen, building 345ø, (+45) 4525 5715, oh@mic.dtu.dk |
| Institut: 033 Mikroelektronikcentret |
| Nøgleord: mikroteknologi, nanoteknologi, AFM, STM, tyndfilm |
| Opdateret: 15-03-2001 |
