44210 Mikrosystemer
|
Engelsk titel: Microsystems
|
| Type: | Å, Sprog: E |
| basiskursus |
|
Point:
5 point |
|
Tidligere kursus: C4410 |
Udbydes af:
Mikroelektronik Centret
(MIC) |
Pointspærring: C4410 |
Faglige forudsætninger: 44250 |
Vejledende semester:
Sidst i studiet. |
Deltager antal: Max. 20 |
Undervisningsform: 2 skemamoduler pr. uge i de første 10 uger, derefter projekter. |
Evalueringsform:
Bedømmelse af rapporter og mundtlig eksamen.
(13-skala
) |
Bemærkninger: Dette kursus er obligatorisk for studerende, der vil udføre deres eksamensprojekt i Mikromekanik. Kursus og eksamensprojekt kan udføres samtidig. |
Kontaktperson: |
Siebe Bouwstra, MIC, bygn. 349, tlf. 4525 6306 |
|
Kursusmål: At sætte den studerende i stand til at vurdere anvendelsen af silicium mikromekanik til givne transducer anvendelser og mikrovæske håndteringssystemer. Desuden introduceres begrebsapparat og værktøjer, der sætter studenten i stand til at dimensionere mikromekaniske komponenter og skitsere en fremstilling af disse. |
Kursusindhold: Introduktion til mikromekanik, tynd film teknologi, bulk micromachining, overflade micromachining, bonding, indkapsling, mikrosystem begreb, elementær mekanik, anvendelse af finite element method, elektromekaniske og optomekaniske transducer mekanismer, integrationsteknologier, eksempler på mikromekaniske sensorer og aktuatorer, samt mikrovæskehåndtering og kemiske analyse systemer. |
|
|